
이날 삼성전자는 업계 최초로 반도체 초미세공정 기술인 극자외선(EUV)을 D램에 적용한 양산체제를 구축하는데 성공했다.

또한 이 부회장은 지난해 설립한 미세먼지 연구소 추진 전략도 함께 살펴봤다. 그는 "어렵고 힘들 때일수록 미래를 철저히 준비해야 한다"면서 "국민 성원에 우리가 보답할 수 있는 길은 혁신"이라고 말했다.

한편 삼성전자는 평택 메모리반도체 사업장에 'EUV D램' 공정 양산체계를 갖췄다.
반도체는 생산과정에서 빛으로 회로를 세기는 노광공정이 진행되는데, 노광에 쓰이는 광원으로 기존 불화아르곤(ArF) 대신 극자외선(EUV)을 도입한 것이다. EUV는 빛 파장이 짧아 더 미세한 작업이 가능하고, 한 번에 더 많은 회로를 세길 수 있어 가격경쟁력도 끌어올린 것으로 풀이된다.
삼성전자는 올 하반기 평택 EUV D램 라인을 가동하고, 내년 여기서 만든 '4세대 10나노급 D램'을 본격 양산해 반도체 기술 리더십을 공고히 한다는 전략이다.
곽호룡 기자 horr@fntimes.com
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