SK머티리얼즈, '에칭가스' 양산 돌입…'탈일본' 성과 속속

[한국금융신문 곽호룡 기자] SK가 지난해 일본 수출 규제에 대응하기 위해 착수한 소재 국산화 성과가 속속 나오고 있다.

SK머티리얼즈가 최근 순도 99.999%의 초고순도 불화수소(HF) 가스 양산을 시작했다고 17일 밝혔다.

초고순도 불화수소는 액체형태로 반도체 식각 공정에 쓰이고 기체(가스)형태로는 웨이퍼 이물질 제거에 쓰인다.

이 가운데 기체 형태의 웨이퍼 세정용 초고순도 불화수소 가스는 '에칭가스'로도 불리며 거의 대부분 일본에 의지하고 있는 소재다. 이 때문에 지난해 7월 일본 정부가 한국에 대한 경제보복의 일환으로 수출규제를 단행한 3대 반도체·디스플레이 소재 가운데 하나로 포함되기도 했다.

SK머터리얼즈는 일본의 경제보복 조치 이후 초고순도 불화가스 국산화 작업에 매진했다. 그해말 시제품 개발에 성공하고 경북 영주공장 내 15톤 규모의 생산시설을 건설했다. 회사는 이번 양산을 시작으로 3년 후인 2023년까지 해당 소재 국산화율을 70%까지 끌어올리겠다는 목표다.

아울러 SK머터리얼즈는 하드마스크(SOC), 불화아르곤(ArF) 포토레지스트 등 소재 국산화 작업에도 속도를 낸다.

두 소재는 반도체 미세공정에 쓰인다. 특히 불화아르곤 포토레지스트는 해외 의존도가 90%에 달한다. SK머터리얼즈는 400악원을 들여 내년 불화아르곤 포토레지스트 생산시설을 준공해 내후년부터 연 5만 갤런 규모로 양산한다.

SK그룹은 이와 함께 소재 국산화 작업에서 확보한 노하우를 중소기업과 공유해 국내 반도체 생태계 강화에 나서기로 했다.

이미 SK하이닉스는 4000억원 규모의 상생펀드로 중소 협력사에 저금리 융자를 제공하고 있다. SK머터리얼즈는 경북 영주 본사에 R&D시설 '통합분석센터'를 설립하고 중소기업에 소재 정제 기술 등을 분석하고 공유하는 서비스를 준비하고 있다.

SK그룹 관계자는 "투자비나 전문 인력 확보 측면에서 어려움을 겪는 중소기업들에 SK가 보유한 노하우를 공유해 업계 전체가 진화 발전하도록 도울 것"이라며 "중소기업 상생 협력을 강화해 국내 반도체 산업 경쟁력을 제고하고 고용 창출 효과에도 기여하겠다"고 밝혔다.

곽호룡 기자 horr@fntimes.com