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이석희기사 모아보기)가 제9회 산학연구과제 우수발명 포상을 실시했다고 3일 밝혔다. 최우수상은 부산대 이호준 교수가 ‘이온 소스 헤드 및 이를 포함하는 이온 주입 장치’ 특허로 수상했다.
본 특허는 고진공, 저유량에서도 고주파 플라즈마를 생성할 수 있다. 또 기존 대비 플라즈마 효율을 향상 및 이온 소스 사용주기를 두 배 이상 개선해 비용을 절감할 수 있어 기술적으로 높은 평가를 받는다.
SK하이닉스는 산학협력 대학교가 연구과제 수행과정에서 출원한 특허 중 우수특허를 선별해 연구자의 사기를 북돋우고 개발을 장려하기 위해 2013년부터 매년 포상식을 열고 있다.
올해 포상식은 신종 코로나바이러스 감염증(코로나19) 확산을 고려해 SK하이닉스 구성원들이 수상자 학교를 직접 찾아가 상패를 전하는 방식으로 진행했다.
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