이수빈 연구원은 "포토레지스트(PR)는 노광공정에 사용되는 감광제"라며 "일본의 수출규제는 ArF 또는 KrF 포토레지스트가 아닌 가장 앞선 기술인 EUV 포토레지스트가 타겟이 될 것"이라고 전망했다.
이 연구원은 "EUV 기술은 삼성전자, SK하이닉스, TSMC, 인텔에서 도입 준비 중"이라고 설명했다.
그는 "국내 동진쎄미켐이 KrF와 ArF 포토레지스트 개발을 완료해 판매하고 있으나, EUV 레지스트는 개발 중으로 국산화까지는 수년의 시간이 필요할 것"이라고 예상했다.
그는 또 "전세계 불화수소 수요의 약 80%는 반도체 및 디스플레이 세정 공정에 사용되고 약 20%는 식각액으로 사용되고 있다"면서 일본의 Stella Chemifa, Daikin Industries, Morita Chemical Industries가 핵심 공급사라고 밝혔다.
그 외 대만의 Sunlit Chemical과 중국 Juhua가 반도체용 불화수소를 공급 중이라고 밝혔다.
그는 "SK머트리얼즈, 솔브레인, 이엔에프는 중국에서 순수 불화수소를 수입해 정제한 뒤 세정용 또는 식각액으로 가공한다"면서 "국내 반도체 제조사가 확보한 재고는 1~2개월로 추정되며, 단기적으로는 생산차질에 영향을 줄 수 있으나 중장기적으로 일본 공급업체 외로 선택할 수 있는 옵션이 존재한다"고 밝혔다.
이어 "불소폴리이미드는 OLED패널 PI필름에 사용되는 제품"이라며 "아직 시장규모가 작고 대체제가 존재하기 때문에 무역분쟁이 장기화된다고 하더라도 업계에 미치는 영향은 미미할 것"이라고 예상했다.
장태민 기자 chang@fntimes.com
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